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半导体与微电子洁净室检测重点：不留颗粒

时间：2023-11-23 14:12 点击次数：

　由于其产品的敏感性，用于微电子和半导体应用的洁净室设施需要严格的环境控制。这些洁净室还装有精密和昂贵的设备，例如光刻，蚀刻，清洁，掺杂和切割机。因此，清洁规范中的任何缺陷都可能影响整个生产过程。微电子和半导体洁净室概念和设计中的其他常见问题是空间的大化，同时也允许将来进行重新配置。由于所有这些原因，模块化无尘室系统通常是解决方案。
晶圆厂的洁净室是其的空间之一，因为在此环境中进行控制，以消除所有粉尘，这些粉尘经振动并保持在狭窄的温度和湿度范围内。微电子和半导体洁净室的范围从100级到100000级，这取决于设施内发生的过程。

半导体与微电子洁净室符合下列要求：气密性；紫外线过滤光；不保留颗粒；不扩散污染物。

ISO 8573-1建立了三个粒径范围：0.1到0.5微米（微米），0.5到1.0微米以及1.0到5.0微米。同样，不存在大于5 um的颗粒以符合1-5级纯度等级。仅纯度等级1和2要求所有三个尺寸范围。通常，压缩机或过滤器制造商建议使用过滤器去除颗粒和油脂，随着半导体级别上升，要测量小至0.1微米的颗粒，需要校准的激光尘埃粒子计数器。对于许多食品制造商来说，由于可用性和费用，这可能被证明是不切实际的。如果不经常采集少量样品，激光尘埃粒子计数器可能会很昂贵，但是当存在颗粒污染问题时，激光尘埃粒子计数器会非常有用。激光粒子计数器可用于通过现场测试结果快速采样多个位置，因此是故障排除的理想选择。

烟雾颗粒-0.01-1微米
空中细菌-1至10微米
灰尘-0.1至100微米

激光尘埃粒子计数器特点：
快速采样-您无需整天等待颗粒计数。寻找一个可以从几分钟到几秒钟提供快速采样的粒子计数器。这将帮助您获得结果并能够尽快采取行动。

多种采样模式-多种采样模式为您分析房屋的颗粒数提供了更多选择。例如，连续采样模式不间断地采样空气，而间歇采样模式则每小时采样一次空气。

历史记录存储-一些粒子计数器可以存储过去的读数以供参考。这有助于获取过去一天，一个月或一周的平均颗粒数。历史记录还使您可以轻松比较加班次数并查看空气质量的改善情况。

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