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半导体与微电子洁净室检测重点:不留颗粒

时间:2021-01-06 11:00 点击次数:
 由于其产品的敏感性,用于微电子和半导体应用的洁净室设施需要严格的环境控制。这些洁净室还装有极其精密和昂贵的设备,例如光刻,蚀刻,清洁,掺杂和切割机。因此,清洁规范中的任何缺陷都可能影响整个生产过程。微电子和半导体洁净室概念和设计中的其他常见问题是空间的最大化,同时也允许将来进行重新配置。由于所有这些原因,模块化无尘室系统通常是最佳解决方案。
晶圆厂的洁净室是其最重要的空间之一,因为必须在此环境中进行控制,以消除所有粉尘,这些粉尘经振动抑制并保持在狭窄的温度和湿度范围内。微电子和半导体洁净室的范围从100级到100000级,这取决于设施内发生的过程。

半导体电子洁净室
 
半导体与微电子洁净室符合下列要求:气密性;紫外线过滤光;不保留颗粒;不扩散污染物。

ISO 8573-1建立了三个粒径范围:0.1到0.5微米(微米),0.5到1.0微米以及1.0到5.0微米。同样,不存在大于5 um的颗粒以符合1-5级纯度等级。仅纯度等级1和2要求所有三个尺寸范围。通常,压缩机或过滤器制造商建议使用过滤器去除颗粒和油脂,随着半导体级别上升,要测量小至0.1微米的颗粒,需要校准的激光尘埃粒子计数器。对于许多食品制造商来说,由于可用性和费用,这可能被证明是不切实际的。如果不经常采集少量样品,激光尘埃粒子计数器可能会很昂贵,但是当存在颗粒污染问题时,激光尘埃粒子计数器会非常有用。激光粒子计数器可用于通过现场测试结果快速采样多个位置,因此是故障排除的理想选择。

  • 烟雾颗粒-0.01-1微米
  • 空中细菌-1至10微米
  • 灰尘-0.1至100微米
激光尘埃粒子计数器特点:
快速采样
-您无需整天等待颗粒计数。寻找一个可以从几分钟到几秒钟提供快速采样的粒子计数器。这将帮助您获得结果并能够尽快采取行动。
多种采样模式-多种采样模式为您分析房屋的颗粒数提供了更多选择。例如,连续采样模式不间断地采样空气,而间歇采样模式则每小时采样一次空气。
历史记录存储-一些粒子计数器可以存储过去的读数以供参考。这有助于获取过去一天,一个月或一周的平均颗粒数。历史记录还使您可以轻松比较加班次数并查看空气质量的改善情况。

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